本项目为半导体芯片生产项目,主要生产设备全部由国外引进,主要引进地是日本、美国、荷兰,其生产过程的气态主要污染物较多,经污染因子识别与环评大纲专家讨论会意见,从其对环境影响程度和危害性看,主要有H2S04雾、NOx、氟化物、HCl、C12\非甲烷总烃、氨、H3P04、Sill4、 PH,、AsH30本次环境影响评价认为,目前半导体芯片行业在我国与世界各地均是新兴行业,其污染物种类较多,但相应的排放标准尚未界定清晰,我国信息产业部也正在制定相应的排放规定、技术导则和排放标准,作为本项目来说,在我国没有行业标准或国家标准之前,部分污染物排放限值执行《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)中的"最局允许排放浓度和最高允许排放速率"新污染源二级标准,氨执行《恶臭污染物排放标准》(GBl4554--93)中氨的限值,特征污染物没有查询到设备引进地的排放标准。PH3和AsH3执行国家《工业企业设计卫生标准》(TJ 36-79)车间空气中有害物质的最高容许浓度0.3mg/m3,H3P04执行前苏联车间卫生标准1.0mg/m3,SiH4执仃欧盟中荷兰的排放导则中的相关规定,具体指标见表6。参考执行上述推荐控制标准是可行的,在我国制定有行业标准或国家标准或其他相应污染物控制标准之后,建设单位应遵照执行。