2010年环境影响评价师案例分析实战培训讲义（43）

(三)平衡分析

1．水平衡

水平衡图见图5。每天实际耗水量为206 884m3／d，其中新鲜水(自来水)量为4500m3／d，废水回用量为3424m3／d，循环水量为198960m3／d。

纯水回用率为：(2200+170+170)／4150=61．2％

项目水复用率为：(2200+170+170+150+150+250+50+284+198960)／(3424+198960+4500)=97．8％

2．物料平衡

本项目在生产过程中使用50多种化学原料，根据中芯国际集成电路制造(上海)有限公司的经验，对拟建项目所涉及的主要物料流失在废水、废气及固体废物和回收废液中情况进行分析。

3．氟平衡

拟建项目氟的投加以无机氟和有机氟原料进入生产线，根据使用含氟原料中氟的含量计算氟的投加量，其中无机氟87 956．62kg／a、有机氟17 315．9kg／a。项目氟的产出主要以废气、废水、废渣中氟化物方式流失到环境中，该项目采取了含氟废气洗涤，废水除氟治理措施，因此大部分的氟以固体废物排出，主要是以氟化钙方式排放。生产中有机氟化物用电浆法将其电离成氟离子，电离率一般5％一20％，其余未电离部分和未用尽的离子氟均进入区域除害装置，主要采用是碳纤维吸附，处理效率95％，然后进入酸气洗涤塔，洗涤后排入大气。氟平衡图见图6，氟平衡计算结果如下：

进入废气量：855kg／a；

进入废水量：5112．9kg／a：

进入废渣量：生产工艺中含氟废水、酸碱废水、含氨废水处理前总含氟量

84535．2kg／a；处理后进入固体废物的含氟量：79423．2kS／a；

理论值：81 988．7kg／a：

平衡误差：3．1％。

需要指出的是有机氟化物经电离后(约5％，即865．8kg／a)用于工艺清洗，但最终是先进入炭纤维吸附装置处理后排入酸气洗涤塔，然后放入大气，这部分含氟废弃主要是有机大分子氟化物，比较稳定。带入废水中经过含氟废水处理装置后，排到固体废弃物中约有95％即16450kg／a，进入区域除害装置，由炭纤维剂吸附，这部分固体废物本厂不作处理，由炭纤维吸附剂专门厂商进行回收处理。

4．其他物料平衡

六氟化钨有85％流失到大气、水环境和污泥中；存在钢瓶(桶)退回原厂的占10％。

异丙醇工艺中使用后，100％流失到大气、水环境和废液中。

氨在工艺中使用量为112129．65kg／a，0．04％流失到大气中，5．2％流失到废水中，其余94．76％以(NH3)2504形式流失到废液中；存在钢瓶(桶)退回原厂的占10％。

三氧乙基硼有80％流失到大气、水环境和污泥中：存在钢瓶(桶)退回原厂的占3％。

四、环境影响预测

(一)评价因子的确定

根据项目所在地区的环境特征和保护目标敏感程度，并参照筛选结果，选定下列因子作为评价因子：

1．大气预测因子

氟化物(HF)、HCl、硫酸雾、C12、NH，、非甲烷总烃和NO。共7项。

2．水评价因子

pH、CODc~、BOD5、SS、F-、NH3--N、TOC牙口AOX共8项。

3．固体废物评价因子

水处理污泥、生产过程中产生的废溶剂、废酸、废异丙醇等物质以及生活垃圾等

4．土壤评价因子

砷(As)、硼(B)、氟(F)和钨(W)共4项。

(二)大气环境影响预测与评价

1．达标分析

根据本工程主要污染物非甲烷总烃计算，在风速为1．5m／s，D稳定度下，当烟囱排气筒高度为35．8m时，非甲烷总烃最大落地浓度为4．3 612gg／m3，满足参考标准(以色列国家标准总烃的环境标准限值)5．0mg／m3的要求。如果按：]：程另一主要污染物HCl计算，在风速为]．5m／s，D稳定度下，当排气筒高度为35．8m时，HCI最大落地浓度为2．2 805p．g／m3，满足《工业企业设计卫生标准》(TJ 36—79)：二级标准中一次最高允许浓度限值0．05mg／m’的要求。故拟建项目各类废气处理装置排气筒按35．8m高度设计符合环境保护要求。本项目排放的HF、HCI、硫酸雾、C12、非甲烷总烃和NO。对主要关心点造成的日平均浓度均达到相应的环；境质量标准要求。HF、HCl、硫酸雾、Cl2、。非甲烷总烃和NO。分别占相应的环境质量标准的0．16％～1．35％、0．29％～2．47％、0.02%~17％、0．01％一0．05％、0．002％～0．023％和0．01％～0．06％。本次环境影响评价对于监测日污染物的日平均浓度分布绘制了浓度分布等值线图。

2．卫生防护距离

氟化氢卫生防护距离为11．5m。按GB／T 3840---91中规定，当卫生防护距离在100m以内时，级差为50m，本评价建议拟建项目卫生防护距离为50m。并在厂界周边50m范围内，密集种植高大乔木与低矮灌木、草地相结合的封闭绿化隔离带，一方面是非常好的绿化措施，同时也是防范环境风险与环境安全的最简捷、有效措施。

目前本项目与最近的学校、居民区和公园即北工大实验学院、旭东房地产的距离

都存50m以卜，因此现有本项目区域位置设置可以满足本工程卫生防护距离要求。

(三)水环境影响预测

1．水污染源环境影响预测

本项目各个生产工艺废水处理单元设施排水量合计为3 047m3／d：生产辅助设施(冷却塔循环废水)排水量为434m3／d；生活污水为185m3／d。全厂废水总放量为(一期)，于2002年初建成投入运行，目前实际日平均污水处理量约1．6万t，尚有了定的富裕处理能力。根据规划，到2004年建成规模为2万m3／d的二期处理厂。二期建成后处理污水总规模可达4万m’／d。2010年远期规划为10万m’／d。本项目排水量虽较大，每日约为3666m，，但仅为届时开发区污水处理厂总处理量4万m3／d的9.2%。因此，开发区污水处理场在处理水量上时可以接受的。www.Examw.com

2．用水来源保证性分析

北京属资源性缺水城市，降水时空分布极不均匀，水资源先天不足。随着工业高速发展、城市人口急剧增加、建设规模不断扩大，用水量增长过快。根据水利部门统计数据，由于上游地区用水增加及近年来干旱少雨，作为北京主要地表水源的密云、官厅两大水库的来水呈衰减趋势，由1950、1960年代的30多亿m3／a锐减到目前的10亿m3／a左右(密云水库约7．8亿m3／a、官厅水库约2．2亿m3／a)。长期以来，用水需求已经超过了当地水资源的承载能力和环境容量，造成大部分地区地F水超采，除大兴区外，全市地下水埋深下降1—5m。目前，全市水资源日消耗水量约160万m，、开发区总设计供水指标12万m3／d，实际日消耗水量约3万m3。本项目日用新鲜水量为4500m，，约占全市水资源日消耗量的0．3％，占目前开发区水资源日消耗量的13％，属于用水大户。虽然根据北京经济技术开发区管委会“关于北京中芯环球半导体项目用水供应的承诺”和开发区设计供水指标，本项目用水能够得到保证供应，但为了保持可持续发展，必须进一步挖掘水资源的综合利用的能力。

3．环境风险分析

环境风险分析是编制生产或使用大量化学品项目环境影响报告书的重要组成部分环境风险事故虽然发生的几率极小，但其危害极大，对环境造成的污染，对国家财产和人民生命财产造成的损失相当严重。

本项目在生产加工过程中需要使用大量化学晶，其中52种主要原辅材料中属于危险化学晶的有25种，基本可以分为腐蚀性、易燃晶、有毒气体及毒害品等4大类。这些化学品在正常使用过程中经过一定的化学反应和处理后排放，一般对周围环境和人体造成的影响可以控制在允许范围内；但是如果发生泄漏或报警系统失灵产生事故时，就有可能产生意想不到的事故，腐蚀性化学品泄漏会对周围环境和人员造成腐蚀污染，同时会影响周围空气环境质量，严重时会危及人们生命；易燃气体或液体泄漏可能造成火灾或爆炸：有毒气体泄漏会直接影响到周围地区人员的健康直至生命安全，毒害品管理不严可能会直接威胁人们的生命以及社会的稳定等。因此，当生产的控制系统发生故障或产生突发事故时，系统中的易燃物和有毒物所引的爆炸、火灾或超常量排放，都可能造成环境污染事故。

参照国家环境保护局有毒化学品管理办公室和化工部北京化工研究院环境保护研究所编的“化学晶毒性法规环境数据手册”和相关的资料进行风险识别。

中芯国际集成电路制造(北京)有限公司生产过程中使用的部分化学原料为有毒有害、易燃、腐蚀性物质，分属于第2。1类易燃气体、第2．3类有毒气体：第3．1、

2 类易燃液体：第6.1类毒害品和第8．1、8．2类腐蚀晶。这些化学晶在使用、管理和运输过程中均存在一定的风险。因此，本项目潜在的危害事故主要表现在易燃气体的泄露引起的爆炸和火灾事故，有毒气体泄漏造成的环境污染以及腐蚀品泄漏对环境造成的危害等方面。